非光学器件表面几何形状的非接触测量。
零件结构：非光学器件表面、不规则的几何形状和不寻常的运动轮廓。
测量装置：光学传感器。
定位装置：气浮转台、AB轴气浮转台、气浮直线台、交叉滚柱运动台等。
运动轨迹：扫描运动、点到点运动。
测量算法：传感器反馈与编码器位置（信号等价输出）对齐，以生成样本的数据图，并与理论精度进行比较。
